5月20日，截至09:44，半导体材料设备指数上涨1.54%。个股方面，中科飞测涨超13%，拓荆科技涨超4%，华海清科、长川科技等涨超3%，北方华创涨超2%，华峰测控涨超1%，芯源微上涨。
半导体设备ETF易方达连续5日净流入。
消息面上，5月20日，东吴证券发布行业报告指出，AI驱动先进逻辑与存储扩产，全球半导体设备市场规模持续创新高；先进逻辑端FinFET向GAA/CFET演进、存储端HBM带动DRAM高阶制程升级。中国大陆晶圆产能全球占比仍低于销售占比，逻辑与存储龙头资本开支维持高位，叠加两大存储厂商上市融资在即，支撑前道设备景气度中长期上行。同日，在SEMI韩国水原举办的行业材料峰会上，泛林科技与默克表示，芯片架构正全面向复杂化、高堆叠度的3D结构演进，钼凭借适配先进制程的材料属性，有望成为半导体金属互连的主要接棒材料。上交所公告显示，定于5月21日审议频准激光科创板首发事项，该公司聚焦量子科技与半导体设备领域，2025年25.5%的收入来自半导体量测与加工场景。5月19日，长鑫科技更新科创板IPO招股书，一季度营收同比增长719.13%，净利润达330亿元，长江存储启动IPO辅导。5月15日，中微上调全年意向订单预期，同比增长超50%；韩国半导体氢氟酸供应链承压，市场预计6-7月将迎来新一轮涨价；行业消息显示靶材Q2继续涨价。
华泰证券指出，我国半导体材料国产化空间广阔，头部企业有望充分受益。随着芯片向3DNAND及HBM的多层结构、先进制程以及先进封装方向等发展，半导体材料需求未来有望持续增长。
半导体设备ETF易方达（159558）紧密跟踪半导体材料设备（931743.CSI），该指数由40只业务涉及半导体材料、半导体生产设备的公司股票组成，半导体设备、半导体材料行业合计占比超85%，聚焦半导体产业核心配套环节。
半导体设备ETF易方达（159558）场外联接基金为（021893、021894）。
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